재료역학시험분야 | SEM & EDS (전자현미경)
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작성자 관리자 작성일23-02-28 14:50 조회1,085회관련링크
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▶ 제품명 : SEM&EDS
▶ 모델명 : TESCAN VEGA4 / BRUKER QUANTAX 6l30
▶ 용도 : - 자동차 부품, 전장품 등의 외관/표면 분석, 단면분석
- 이물분석(저진공 모드를 사용하여 도전성 코팅 없이 분석 가능)- 파면분석(파손 형태, 파손 기점 추정)
▶ 사양 : - 시험모드 및 배율
*고진공 모드 : 5X ~ 10,000X(SE,BSE)
*저진공 모드 : 5X ~ 5,000X(BSE)
- 시험품 크기
*최대 높이 : 40mm (단차가 심한 경우에는 협의 필요)
*시편 크기 Φ70mm 이내 : 전체영역 분석 가능
*시편 크기 Φ70mm 이상 Φ140mm이하 : 시험 가능하나 분석영역에 제한이 있음
*시편 크기 Φ140mm 이상 : 가공 필요
- EDS 스펙
*point, line, mapping 수행 가능
*분해능 : < 129 eV (MnKa, 100 000 cps)
*분석 가능 원소 : B(4) to Cf(98)
